中微是光伏还是半导体？

　　中微半导体设备（上海）有限公司是一家具有自主研发功能的科研企业，研发了多款具自主知识产权的芯片设备，并在全球范围内申请了1200余项专利。中微半导体设备（上海）有限公司于2004年5月31日在浦东新区市场监管局登记成立。法定代表人尹志尧（GERALDZHEYAOYIN），公司经营范围包括研发薄膜制造设备和等离子体刻蚀设备、大面积显示屏设备等。