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一种FOPLP晶圆整体封装方法与流程
1.
在整片的晶圆片的背面贴上蓝膜,再将晶圆片朝上进行划片切割,得到多块裸芯片组成的晶圆片板件...
2.
对上述蓝膜进行处理,使蓝膜扩张,蓝膜上的裸芯片也跟着扩张到指定的间距;
3.
将一个或数个晶圆片板件朝下贴在布置有临时键合胶的载板上,再撕掉蓝膜,形成裸芯片-临时键合...
4.
对上述结构进行塑封形成塑封板件,并对其进行研磨减薄;